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      微小型熱式氣體質(zhì)量流量計
      淮安華立儀表有限公司 >> 產(chǎn)品展示 >> 流量儀表系列 >> 微小型熱式氣體質(zhì)量流量計
       
    微小型熱式氣體質(zhì)量流量計
    關鍵字:流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質(zhì)量流量計,,,,,,,

     

    一、 產(chǎn)品概述
     
    江蘇華流儀表采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
    該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償


    二、技術參數(shù)


    2.1 測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

    2.2   流量范圍:  DN3   30-300ml/min

                                DN6   60-600ml/min

                                DN8   80-800ml/min

                                DN10 100-1000ml/min            

                             注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

                                    (b)以上流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa

                                    (c) 每個口徑量程范圍均可擴大

                                    (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定

    2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
    2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
    2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa1.0MPa
    2.6   供電電源:24VDC±10%;
    2.7   輸出信號:4-20mARS485通訊;
    2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
    2.9   顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。
     

    三、    工作原理


     uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作,保證傳感器的高度一致,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴,大規(guī)模應用比較難的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。


    在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的特有工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:



     

    式中:氣體流動方向為,速度為v,a為擴散率。          
                       如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質(zhì)量流量。



    四、產(chǎn)品特點
     

    1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
    2μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
    3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
    4、單個芯片的卓越流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高。
    5、機電一體化優(yōu)化設計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
    6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達到最小化。
    7、采用新的MF傳感技術,使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
    8、獨創(chuàng)零點自校功能,測量更準確。
    9、多種氣體實際標定,全量程補償。
    10、快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。
    11、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定。
    12、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。
    13、獨有的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠。
    14、操作、設置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設定相關參數(shù)。
    15、運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的首選。


     、產(chǎn)品分類與命名    


    微氣體質(zhì)量流量計的型號命名


    MF?

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    ?

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    接頭類型

     

    0:普通

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    1Swagelok接頭

     

     

     

     

     

     

     

     

    2:其他

     

     

     

     

     

     

     

     

    連接形式

     

    0:快速接頭

     

     

     

     

     

     

     

    1:法蘭式

     

     

     

     

     

     

     

    標定方式

     

    0:空氣

     

     

     

     

     

     

     

    1:氫氣

     

     

     

     

     

     

     

    2:氧氣

     

     

     

     

     

     

    3:氮氣

     

     

     

     

     

     

    品種

     

    01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出

     

     

     

     

     

     

    02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

     

     

     

     

     

     

    03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

     

     

     

     

     

     

    04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出

     

     

     

     

     

     

    05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

     

     

     

     

     

     

    06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

     

     

     

     

     

    材質(zhì)

     

    0304不銹鋼

     

     

     

     

     

    1316不銹鋼

     

     

     

     

     

    2316L不銹鋼

     

     

     

     

     

    3:鋁

     

     

     

     

     

    4:其他

     

     

     

     

    壓力

     

    0≤0.3Mpa

     

     

     

     

    1≤0.6Mpa

     

     

     

     

    2≤1.0Mpa

     

     

     

    被測介質(zhì)

     

     

    流量范圍

     

    產(chǎn)品通徑

     

    03DN3

     

    06DN6

     

    08DN8

     

    10DN10

    產(chǎn)品類型

     

    M:質(zhì)量流量計

    C:質(zhì)量流量控制器


     

    六、安裝與接線
     

    7.1       安裝注意事項
                                   安裝時必須注意場合,不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方;


                                    安裝時應使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向一致;


     7.2   上游管道應有10DD為管道內(nèi)徑)的直管段,下游應有5D的后直管;


     7.3   儀表安裝處的管道內(nèi)應光滑清潔,無突出,流量調(diào)節(jié)閥應安裝在流量計的下游;


     7.4   儀表水平安裝,安裝使用中嚴防漏氣;


     七、儀表的機械尺



     


     

    L

    D

    H

    G

    DN3

    74

    30

    127

    G1/8

    DN6

    74

    30

    127

    G1/4

    DN8

    90

    30

    127

    G3/8

    DN10

    130

    35

    127

    G1/2


      聯(lián)系方式:15952320858(微信同號)

     
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